半导体产业链关键装备项目再传捷报。4月16日，半导体高端干式真空泵领军企业—浙江莱斯特真空装备有限公司正式落户南海，将在南海建设华南制造基地与运维中心，为珠三角半导体产业提供关键装备配套支撑。
半导体产业高质量发展离不开核心装备的支撑。此次落户的莱斯特公司，专注于半导体高端干式真空泵的研发与制造，其自主研发的第三代全无油技术NSS系列产品已在多家半导体龙头企业实现稳定应用。
“真空泵被称为半导体产线的‘肺’，是薄膜沉积、刻蚀等核心工艺必备的关键设备。”季华实验室半导体装备专家表示，“莱斯特项目的落地，将有效增强佛山乃至大湾区在半导体核心装备领域的自主可控能力。”根据规划，莱斯特将在南海投资建设华南制造基地及运维服务中心，项目建成后将为珠三角半导体、新型显示等产业集群提供本地化、快速响应的设备供应与技术服务。
技术领先实力雄厚打造高端装备新标杆
莱斯特公司是国内少数掌握半导体高端干式真空泵核心技术的企业之一，15余年技术沉淀，积累了深厚的工艺经验与渠道资源，具备快速迭代和定制化能力。
自主设计开发S、M、C三大系列共计30余款产品，可满足行业95%的应用需求。其中，NRM、NRC、NRS系列较进口同类产品节能效果显著，能耗节约可达30%-50%。尤为突出的是第三代NSS系列产品，采用全无油润滑技术，抽速可达8000m³/h，能耗较进口产品低35%，维护成本降低60%以上，核心技术已形成完整的专利保护体系。
长期以来，莱斯特公司深度服务于半导体、面板、光伏领域的龙头企业，客户包括华虹、海力士、GF、英飞凌、京东方、惠科、TCL、华星光电、先导、迈为等，产品性能稳定可靠，得到了行业的高度认可。此次在南海设立制造基地，将实现高端真空装备的本地化生产，大幅缩短对华南地区客户的响应时间。
“在南海设立制造基地后，我们将实现设备的本地化生产和快速响应服务。”莱斯特真空创始人、董事长沈文武表示，“这意味着大湾区客户从设备采购到后续维护，响应时间可以大幅缩短，设备全生命周期使用成本可显著降低。
下一步，南海区科技招商专班将依托现有产业基础和创新资源，围绕光芯片、功率半导体、传感器、先进封装、半导体装备及核心零部件等，大力引进更多优质半导体项目，加快构建特色鲜明、配套完善的半导体产业集群，为佛山高质量发展提供有力支撑。
